测量行程：X轴610 mm，Y轴508 mm，Z轴406 mm；
测量精度：G=2.0+L/250μm，M=2.5+L/150μm；
重复精度：R=2.0μm；
最大矢量速度：40m/min；
最大矢量加速度：1330mm/sec/sec；
各轴为气浮导轨
工作台尺寸：1200×1060×165 mm；
测量行程：X轴610 mm，Y轴508 mm，Z轴406 mm；测量精度：G=2.0+L/250μm，M=2.5+L/150μm；重复精度：R=2.0μm；最大矢量速度：40m/min；最大矢量加速度：1330mm/sec/sec；各轴为气浮导轨